Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefaßt. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.

1 Einleitung

1.1 Problemstellung
1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise
2 Stand der Technik
2.1 Begriffe und Definitionen
2.2 Ausgangssituation
3 Entwicklungsschwerpunkte
3.1 Untersuchungsinhalte als Folgerung aus der Analyse der Ausgangssituation
3.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Meßmethode zur Erfassung der Partikelemission von Handhabungssystemen
4 Entwicklung einer Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen bei Handhabungssystemen
4.1 Auswahl der Partikelmeßgeräte
4.2 Aufbau von Prüfständen zur Untersuchung von Handhabungskomponenten
4.3 Erarbeitung der Meßmethode
5 Untersuchung der Partikelemission von Handhabungskomponenten
5.1 Untersuchungsablauf
5.2 Partikelmessungen an Baugruppen
5.3 Partikelanalyse an Baugruppen
5.4 Untersuchung von Modifikationen an Verfahrachsen von Handhabungssystemen
6 Ableitung von Richtlinien zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme
6.1 Erstellung des Anforderungsprofiles
6.2 Richtlinien zur Konzeption und Integration von Reinraumhandhabungssystemen
6.3 Richtlinien zum Entwurf von Reinraumhandhabungssystemen
7 Umsetzung und Erprobung der Erkenntnisse an einem Praxisbeispiel
7.1 Anforderungskatalog für das zu entwickelnde Handhabungssystem
7.2 Konstruktiver Aufbau der realisierten Lösung
7.3 Test und Modifikation des Prototyps im Reinraum
7.4 Bewertung der Anwendungsmöglichkeit der Richtlinien sowie der Meßmethode
8 Zusammenfassung und Ausblick
9 Schrifttum.