Plasma Chemistry I

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Elementary plasma reactions of environmental interest
Plasma-materials interactions and impurity control in magnetically confined thermonuclear fusion machines
Preparation of optical waveguides with the aid of plasma-activated chemical vapour deposition at low pressures.
ISBN 978-3-662-15976-7
Artikelnummer 9783662159767
Medientyp Buch
Auflage Softcover reprint of the original 1st ed. 1980
Copyrightjahr 2014
Verlag Springer, Berlin
Umfang V, 146 Seiten
Abbildungen V, 146 p.
Sprache Englisch